【儀器儀表網(wǎng)  新品動態(tài)】近日，日立高新技術(shù)公司推出兩款FE-SEM(場發(fā)射掃描電子顯微鏡)“SU8600”和“SU8700。該產(chǎn)品配置自動獲取大量數(shù)據(jù)的功能，可用于觀察、測量和分析樣品細(xì)微結(jié)構(gòu)，被廣泛用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)和材料研發(fā)等領(lǐng)域。

在細(xì)微結(jié)構(gòu)分析中，SU8600可以實(shí)現(xiàn)低加速電壓觀察，對高分子等易受電子束照射影響的材料進(jìn)行高分辨觀察。SU8700可配置各種分析附件，適用于從低加速觀察到高束流的EBSD*3分析，支持陶瓷、金屬等不同材料的解析。

FE-SEM SU8600和SU8700場發(fā)射掃描電子顯微鏡的產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.支持自動獲取數(shù)據(jù)

在FE-SEM的觀察和分析中，需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度，這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動調(diào)整功能，可避免人為操作導(dǎo)致的差異。

2.增加獲取信息的種類與數(shù)量

通過SEM能夠收集到多種信號，且此系列產(chǎn)品zui多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時能夠獲取多種信息。

3.增強(qiáng)信號檢測能力

SU8600開發(fā)了多個新型選配檢測器，加強(qiáng)了對凹凸信息、發(fā)光信息的檢測能力。此外，還提高了背散射電子信號檢測的響應(yīng)速度。