【儀器儀表網(wǎng) 廠(chǎng)商新聞】近日，北京萊伯泰科儀器股份有限公司憑借其《硅片表面金屬離子國(guó)產(chǎn)檢測(cè)儀器首創(chuàng)項(xiàng)目》榮獲“2023年度中國(guó)檢驗(yàn)檢測(cè)學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)”科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。
萊伯泰科此次獲獎(jiǎng)的《硅片表面金屬離子國(guó)產(chǎn)檢測(cè)儀器首創(chuàng)項(xiàng)目》成功解決了國(guó)產(chǎn)儀器在此領(lǐng)域的技術(shù)kong白，有望打破國(guó)外技術(shù)的長(zhǎng)期壟斷。該項(xiàng)目依托xian進(jìn)的ICP離子源技術(shù)、加強(qiáng)的離子傳輸系統(tǒng)和基于CAN總線(xiàn)的電控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了儀器的高效穩(wěn)定運(yùn)行及精準(zhǔn)檢測(cè)，滿(mǎn)足了半導(dǎo)體硅片行業(yè)對(duì)極低檢出限的嚴(yán)苛要求。
萊伯泰科LabMS 3000電感耦合等離子體質(zhì)譜儀和LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀，其技術(shù)成熟度與產(chǎn)品可靠性已經(jīng)滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)對(duì)28nm以上制程硅片表面金屬離子檢測(cè)的需求。
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