【儀器設(shè)備網(wǎng) www.skgjg.com  焦點(diǎn)新聞】又一項(xiàng)半導(dǎo)體材料關(guān)鍵裝備-高能離子注入機(jī)獲取突破。電科裝備自主研制開(kāi)發(fā)的高能離子注入機(jī)順利完成百萬(wàn)電子伏特高能離子加速，性能指標(biāo)達(dá)國(guó)際主流產(chǎn)品xian進(jìn)水平。

　　據(jù)了解，中國(guó)電子科技集團(tuán)旗下電科裝備自主研制開(kāi)發(fā)的高能離子注入機(jī)順利完成百萬(wàn)電子伏特高能離子加速，性能指標(biāo)達(dá)國(guó)際主流產(chǎn)品xian進(jìn)水平。這代表著在芯片自主研制開(kāi)發(fā)的道路上，中國(guó)又攻克了一樣受制多年的關(guān)鍵裝備?，F(xiàn)階段世界范圍內(nèi)以集成電路領(lǐng)域離子注入機(jī)為主要業(yè)務(wù)的公司只有6家。

　　離子注入機(jī)是半導(dǎo)體材料晶圓制造等領(lǐng)域的關(guān)鍵儀器設(shè)備之一。在半導(dǎo)體材料晶圓制造中，鑒于純凈硅的導(dǎo)電的性能能很差，必須加入少量雜質(zhì)使其結(jié)構(gòu)和電導(dǎo)率發(fā)生改變，進(jìn)而轉(zhuǎn)變成一種有價(jià)值的半導(dǎo)體材料，這一流程稱(chēng)為摻雜。

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　　半導(dǎo)體材料就是指一種導(dǎo)電的性能可受控制，范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。不管從科技或是社會(huì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，半導(dǎo)體材料的重要性都是特別巨大的。如今大部分的電子設(shè)備，如電子計(jì)算機(jī)、智能手機(jī)或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的關(guān)鍵單元都和半導(dǎo)體材料有著極為密切的關(guān)系。常用的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導(dǎo)體材料中，在商業(yè)應(yīng)用上較具有影響力的一種。

　　因此可見(jiàn)，半導(dǎo)體材料較為重要，而半導(dǎo)體材料的關(guān)鍵裝備之前一直依賴(lài)于其他國(guó)家。經(jīng)過(guò)科研人員不懈努力，我國(guó)又一項(xiàng)半導(dǎo)體材料關(guān)鍵裝備獲取突破!